六氟化鎢

化學(xué)式：WF6

純度規(guī)格：6N

用途：沉積

主要應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路（LOGIC/DRAM/3D NAND）

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產(chǎn)品種類：

主要?dú)怏w

產(chǎn)品標(biāo)簽：

電子特種氣體

產(chǎn)品詳情

高純六氟化鎢主要應(yīng)用于大規(guī)模集成電路化學(xué)氣相沉積工藝，其沉積形成的鎢導(dǎo)體膜可用作通孔和接觸孔的互連線，具有低電阻、高熔點(diǎn)的特點(diǎn)，純度一般需要達(dá)到5N，公司已實(shí)現(xiàn)6N級(jí)六氟化鎢的量產(chǎn)，憑借優(yōu)異的產(chǎn)品品質(zhì)，多年來穩(wěn)定供應(yīng)境內(nèi)外集成電路和顯示面板知名客戶，客戶覆蓋廣泛。

以品質(zhì)為基石，開拓全球市場

目前，派瑞特氣公司擁有單條年產(chǎn)能超過3000噸的高純?nèi)獨(dú)怏w生產(chǎn)線，擁有高純六氟化鎢規(guī)?；a(chǎn)線，擁有三氟甲磺酸系列產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)基地，建設(shè)了高純鎢制品中試生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)了企業(yè)大宗制氣的技術(shù)突破，已成為國內(nèi)特氣行業(yè)產(chǎn)品系列豐富、生產(chǎn)能力大、市場覆蓋面和占有率高、持續(xù)創(chuàng)新能力強(qiáng)的企業(yè)。

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推薦產(chǎn)品

公司主要從事電子特種氣體及三氟甲磺酸系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，主要產(chǎn)品包括高純?nèi)?、高純六氟化鎢、高純氯化氫、高純氟化氫、高純四氟化硅、高純氘氣、高純六氟丁二烯、高純八氟環(huán)丁烷、高純電子混合氣等電子特種氣體，以及三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、雙（三氟甲磺酰）亞胺鋰等含氟新材料。